半导体应变片结构示意电路图
出处：tage 发布于：2009-09-07 00:00:00 | 2596 次阅读
半导体主要是利用硅的压阻效应而制成的。如果在半导体晶体上施加作用力，晶体除产生应变外，其会发生变化。这种由外力引起半导体材料电阻率变化的现象称为半导体的压阻效应。
半导体应变片是直接用单晶锗或等半导体材料进行切割、研磨、切条、焊、粘贴一系列工艺制作过程完成的，它的结构如图所示。
半导体应变片和金属电阻应变片相比，它的灵敏系数很高，可达100-200，但它在温度稳定性和重复性方面不如金属电阻应变片优良。
半导体应变片是直接用单晶锗或等半导体材料进行切割、研磨、切条、焊、粘贴一系列工艺制作过程完成的，它的结构如图所示。
半导体应变片和金属电阻应变片相比，它的灵敏系数很高，可达100-200，但它在温度稳定性和重复性方面不如金属电阻应变片优良。
图：半导体应变片结构示意图
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